菲利华:目前合肥光微光掩膜基版精密加工项目已具备批量供货能力
2025-09-04 17:32:19 星期四   
格隆汇9月4日|菲利华(300395.SZ)发布投资者关系活动记录表公告称,公司继推出国内首创的8.5代TFT-LCD用光掩膜基板后,于2022年研发成功了G10.5代,目前公司具备TFT-LCD用光掩膜基板G4.5代到G10.5代生产能力。目前合肥光微光掩膜基版精密加工项目已具备批量供货能力,并实现小批量出货;济南光微高端电子专用材料精密加工项目目前基础规格产品量产线已完成通线并就量产工艺进行优化,同时高阶产品的生产工艺已按照计划同步启动开发,为后续产品升级与工艺迭代奠定基础。
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